연구성과

HOME  >  연구성과  >  특허

특허

구분
특허출원
특허명
Kerf less방식으로 제작된 다결정 실리콘 웨이퍼의 텍스쳐링 에칭액 조성물 및 이중표면 조직화 방법
출원국
대한민국
등록/출원번호
10-2019-0099585
등록/출원일
2019-08-14

페이지 상단으로 가기 버튼